[发明专利]一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置

权利要求书

1.一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置，其特征是：包括工作平台(1)，所述工作平台(1)上设有进料区、工作区和下料区；还包括传输机构，所述传输机构贯通整个进料区、工作区和下料区；在工作区内，所述工作平台(1)上设有热处理室和若干个真空室；所述热处理室设在所述真空室之间，通过密封装置与真空室分隔；所述热处理室包括工作腔(50)，所述工作腔(50)呈双层结构，包括内腔(501)和外壁(502)，内腔(501)和外壁(502)之间设有用于流动冷却剂的冷却夹层(503)，内腔(501)的内表面涂覆吸热涂层(504)；所述热处理室包括真空区(4)、热处理区(5)和冷却区(6)；在传输机构的上方，所述热处理区(5)内设有若干支位于同一水平面并联排布的热辐射灯管(56)；在传输机构的上方或/和下方，所述冷却区内设有若干排冷却管(64)；所述热处理室与真空泵组相连通。

2.根据权利要求1所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置，其特征是：最下游真空室与所述下料区之间设有风栅急冷区(8)；所述风栅急冷区(8)内设有若干条风管；所述风管分布在所述传输机构的上方和下方；所述风管上设有若干个风嘴。

3.根据权利要求2所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置，其特征是：所述隔离段(53)与所述真空室之间设有用于测量基片的整体温度均匀性分布以及表层温度高低的红外热成像仪(84)。

4.根据权利要求1所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置，其特征是：所述热处理区(5)包括用于隔离可控气氛的隔离段(53)；所述热辐射灯管(56)分布在预热段(51)和退火段(52)内；所述隔离段(53)设在退火段(52)的下游位置。

5.根据权利要求1所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置，其特征是：所述真空室的工作腔呈双层结构，包括内腔和外壁，内腔和外壁之间设有用于流动冷却剂的冷却夹层。

6.根据权利要求1所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置，其特征是：还包括由金属材质制成的冷却箱体(66)；所述冷却箱体(66)安设在地表下，与所述冷却管(64)连通。

7.根据权利要求1所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置，其特征是：所述热处理区(5)与真空区(4)和冷却区(6)之间均设有隔板，所述隔板与所述热处理室的内腔之间留有供基片通过的水平夹缝。

8.根据权利要求1所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置，其特征是：所述真空室和所述热处理室真空区(4)和冷却区(6)的上盖板设有升降装置；所述上盖板通过升降装置能实现升降。

9.根据权利要求1所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置，其特征是：所述工作腔(50)上设有若干支位于同一水平面的并列排布的石英玻璃管(55)，所述石英玻璃管(55)穿过所述热处理室的工作腔(50)，与工作腔(50)通过耐温胶圈(57)密封连接；所述耐温胶圈(57)上设有冷却保护装置；所述工作腔(50)的两侧设有用于悬挂热辐射灯管的支架，所述热辐射灯管(56)设在所述石英玻璃管(55)内，通过所述支架悬挂安装；所述热辐射灯管(56)距离基片上的热色涂层材料的垂直距离为5～100mm；所述热辐射灯管(56)的两端还设有用于冷却灯管端头的空气冷却装置。所述热辐射灯管背离基片的一侧涂覆有热反射涂层；所述热辐射灯管是红外辐射灯管、卤素辐射灯管、频闪加热灯管或高功率电阻式灯管。

10.根据权利要求1所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的连续退火装置，其特征是：所述真空室和所述热处理室内设有若干个定位传感器；所述传输机构由若干段传输辊(10)组成，每段传输辊(10)至少连接一台可独立运行的传动电机。