[发明专利]一种利用同种材料薄板制备矩形光栅结构的方法

摘要

本发明涉及一种利用同种材料薄板制备矩形光栅结构的方法，通过两种不同厚度的薄板按照一定规则交叉叠加来制作具有一定周期结构的光栅，光栅的周期由两种薄板的厚度决定，光栅槽的宽度由其中一种薄板的厚度决定，而光栅槽的深度由两种薄板侧面的面间距决定。该方法能够制备出深宽比大、侧面光滑陡峭的高精度光栅，该光栅结构可广泛应用到真空电子器件的慢波结构和精细加工模具的制造中。

主权项

一种利用同种材料薄板制备矩形光栅结构的方法，其特征在于，包括如下步骤：1）制备或选取由同种材料制成的厚度分别为h₁和h₂的两种薄板；2）利用机械加工手段，使两种所述薄板的上下表面及至少一个侧面光滑，且每一种薄板的光滑侧面与各自薄板的上下表面相互垂直；3）取厚度为h₁和h₂的薄板各一块，将厚度为h₁的薄板叠放在厚度为h₂的薄板的上表面，要求两块薄板的光滑侧面平行地分布在同一侧，且具有恒定的面间距；4）依次交叉叠放两种厚度不同的薄板，使厚度为h₁的薄板的各个光滑侧面都位于同一平面上，厚度为h₂的薄板的各个光滑侧面都位于另一平面上，且两平面具有恒定的面间距；5）把制造完成的光栅毛坯用夹子压紧，通过电阻焊或其他焊接方式，使这些薄板成为一个整体；6）通过切割或打磨，使光栅尺寸满足要求，并通过清洗去除光栅样品表面的油脂和污染物。