[发明专利]一种动静混合镀膜系统及利用其进行动静混合镀膜的方法

摘要

本发明涉及一种镀膜系统及镀膜方法，尤其涉及一种动静混合镀膜系统及利用其进行动静混合镀膜的方法。动静混合镀膜系统，包括静态镀膜系统和动态镀膜系统；静态镀膜系统包括静态镀膜腔室、第一镀膜组件以及第一传输组件；所述往复扫描的距离是零或者是任何小于相邻靶材间距的距离；动态镀膜系统包括动态镀膜腔室、第二镀膜组件以及第二传输组件。动静混合镀膜方法包括两种模式，第一种是先静态镀膜再动态镀膜，然后垂直平移反向出来，平移以后不镀膜；第二种是先进到最里面的腔室，垂直平移后静态镀膜，再反向出来动态镀膜，最后从低真空室出来。本发明系统和方法能对基板进行镀膜且镀膜均匀、能够防止对静电敏感器件造成静电损伤。

主权项

一种动静混合镀膜系统，其特征在于包括：静态镀膜系统：静态镀膜系统包括静态镀膜腔室、设置在所述静态镀膜腔室内的用于对基板表面沉积镀膜的第一镀膜组件；以及设置在所述静态镀膜腔室内的可用于对基板进行往复扫描的第一传输组件；所述第一镀膜组件包括两个或两个以上平行排列的靶材，所述往复扫描的距离是零或者是任何小于相邻靶材间距的距离； 以及动态镀膜系统，包括动态镀膜腔室、设置在所述动态镀膜腔室内的用于对静态镀膜后的基板表面进行镀膜的第二镀膜组件；以及设置在所述动态镀膜腔室内的用于对静态镀膜后的基板进行连续传输的第二传输组件。