[发明专利]具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置

摘要

本发明公开一种具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置，利用折叠弹簧即能进行旋转运动，该微机电装置包含一旋转元件、至少一限制元件以及至少二折叠弹簧。二折叠弹簧以轴线为中心线而对称配置，每一折叠弹簧具有一移动端及一固定端。移动端连接旋转元件，固定端连接限制元件。由于移动端与固定端不位于轴线上，当旋转元件依一轴线进行旋转时，折叠弹簧的移动端会跟着旋转且弹簧长度也会因而改变。此种具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置可应用于各种具有旋转元件的微机电装置，例如加速度计、陀螺仪、微镜面及磁力计等。

主权项

一种微机电装置，包含：旋转元件，可依一轴线进行转动，该轴线与该旋转元件的两相对表面相交；至少一限制元件；以及至少二折叠弹簧，以该轴线为中心线而对称配置，每一该折叠弹簧具有移动端及固定端，该移动端连接该旋转元件的该两相对表面中的至少一个，该固定端连接该至少一限制元件；其中，该移动端及该固定端都不位于该轴线上，定义该移动端至该轴线的垂直距离为一移动距离，定义该固定端至该轴线的垂直距离为一固定距离，定义该移动端至该固定端的参考点的距离为一弹簧长度，该弹簧长度因该旋转元件的转动而改变。