[发明专利]具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置

权利要求书

1.一种微机电装置，包含：

旋转元件，可依一轴线进行转动，该轴线与该旋转元件的两相对表面相交；

至少一限制元件；以及

至少二折叠弹簧，以该轴线为中心线而对称配置，每一该折叠弹簧具有移动端及固定端，该移动端连接该旋转元件的该两相对表面中的至少一个，该固定端连接该至少一限制元件；

其中，该移动端及该固定端都不位于该轴线上，定义该移动端至该轴线的垂直距离为一移动距离，定义该固定端至该轴线的垂直距离为一固定距离，定义该移动端至该固定端的参考点的距离为一弹簧长度，该弹簧长度因该旋转元件的转动而改变。

2.如权利要求1所述的微机电装置，其中该固定距离小于或等于该移动距离且该弹簧长度小于或等于该移动距离。

3.如权利要求2所述的微机电装置，其中每一该折叠弹簧包含依序相连的多个延展部，该些延展部的延伸方向平行于该轴线，该至少一限制元件为一支架且该支架的宽度大于至少一该延展部的宽度。

4.如权利要求3所述的微机电装置，其中该多个延展部中的至少两个延展部的长度不相同。

5.如权利要求4所述的微机电装置，其中每一延展部的长度都不同，且该些延展部的长度朝远离该轴线方向递减。

6.如权利要求4所述的微机电装置，其中每一延展部的长度都不同，且该些延展部的长度朝远离该轴线方向递增。

7.如权利要求3所述的微机电装置，其中该多个延展部中的至少两个延展部的长度相同。

8.如权利要求1所述的微机电装置，其中该至少一限制元件为一框架。

9.如权利要求1所述的微机电装置，其中该至少一限制元件为一固定座。

10.如权利要求3所述的微机电装置，另包含一框架，其中该旋转元件设置于该框架内，该至少一支架连接该框架。

11.如权利要求10所述的微机电装置，其中该支架另包含第一端及第二端，分别连接至该框架，且该第一端及该第二端以该轴线为中心线而对称配置。

12.一种微机电装置，包含：

旋转元件，可依一轴线进行转动，该轴线与该旋转元件的两相对表面相交；

至少一限制元件；以及

至少二折叠弹簧，以该轴线为中心线而对称配置，每一该折叠弹簧具有移动端及固定端，该移动端连接该旋转元件的两相对表面中的至少一个，该固定端连接该至少一限制元件；其中，该移动端及该固定端都不位于该轴线上，定义该移动端至该轴线的垂直距离为一移动距离，定义该固定端至该轴线的垂直距离为一固定距离，定义该移动端至该固定端的参考点的距离为一弹簧长度，该弹簧长度因该旋转元件的转动而改变，该固定距离小于或等于该移动距离且该弹簧长度大于该移动距离。

13.如权利要求12所述的微机电装置，其中每一该折叠弹簧包含依序相连的多个延展部，该些延展部的延伸方向平行于该轴线，该至少一限制元件为一支架且该支架的宽度大于至少一该延展部的宽度。

14.如权利要求13所述的微机电装置，其中该多个延展部中的至少两个延展部的长度不相同。

15.一种微机电装置，包含：

旋转元件，可依一轴线进行转动，该轴线与该旋转元件的两相对表面相交；

至少一限制元件；以及

至少二折叠弹簧，以该轴线为中心线而对称配置，每一该折叠弹簧具有移动端及固定端，该移动端连接该旋转元件的两相对表面中的至少一个，该固定端连接该至少一限制元件；其中，该移动端及该固定端都不位于该轴线上，定义该移动端至该轴线的垂直距离为一移动距离，定义该固定端至该轴线的垂直距离为一固定距离，定义该移动端至该固定端的参考点的距离为一弹簧长度，该弹簧长度因该旋转元件的转动而改变，该固定距离大于该移动距离且该弹簧长度小于或等于该固定距离。

16.如权利要求15所述的微机电装置，其中每一该折叠弹簧包含依序相连的多个延展部，该些延展部的延伸方向平行于该轴线，该至少一限制元件为一支架且该支架的宽度大于至少一该延展部的宽度。

17.如权利要求16所述的微机电装置，其中该多个延展部中的至少两个延展部的长度不相同。