[发明专利]一种大尺寸致密二钛酸钡陶瓷靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种二钛酸钡陶瓷靶材的制备方法。BaTiO₃粉末和TiO₂粉末按摩尔比1:1混合烘干后用压片机压片；将压片放入电弧熔炼设备进行熔炼得到块体；然后破碎得到粒径10微米以下的二钛酸钡粉体；将粉体放入石墨模具然后移入FCT电场活化烧结炉中，施加40-60MPa的轴向压力并以95-105℃/min的升温速率升至1100℃，然后以8-12℃/min升温至1150℃，保温20-30min，降温、卸除压力并随炉冷却，最终得到物相为BaTi₂O₅、致密度为90％-95％的二钛酸钡陶瓷靶材。与现有BaTi₂O₅靶材制备方法相比烧结时间短、尺寸大、致密度高。

主权项

一种大尺寸致密二钛酸钡陶瓷靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)BaTiO₃粉末和TiO₂粉末，按摩尔比1:1混合，加入无水乙醇球磨得到混合原料，烘干后用压片机压片；然后将压片放入电弧熔炼设备中在氩气氛围保护下进行熔炼得到块体；2)将块体球磨破碎，得到粒径10微米以下的二钛酸钡粉体；3)将粉体放入石墨模具然后移入FCT电场活化烧结炉中，施加40‑60MPa的轴向压力并以95‑105℃/min的升温速率升至1100℃，然后以8‑12℃/min升温至1150℃，保温20‑30min，降温、卸除压力并随炉冷却，最终得到物相为BaTi₂O₅、致密度为90％‑95％的二钛酸钡陶瓷靶材。