[发明专利]具有对准式自动脱模紫外纳米压印装置及方法

摘要

本发明涉及一种具有对准式自动脱模紫外纳米压印装置及方法，主要包括以下机构：大理石减震台，Z轴平台，定向导杆底座，导杆，下腔固定底板，下腔，XYZT四轴平台，基底固定平台，涂有抗刻蚀剂晶圆，压印模板，压印头部，上腔，压印头部支撑基座，紫外光源，对准机构。通过运动机构，光学系统，对准机构，控制系统等将压印模板图形转移到涂有抗刻蚀剂晶圆上。

主权项

一种具有对准式自动脱模紫外纳米压印装置，其特征在于：主要包括，大理石减震台1，Z轴平台2，定向导杆底座3，导杆4，下腔固定底板5，下腔6，XYZT四轴平台7，基底固定平台8，涂有抗刻蚀剂晶圆9，压印模板10，压印头部11，上腔12，压印头部支撑基座13，紫外光源14，对准机构15；其中，Z轴平台2和定向导杆底座3固定于大理石减震台1上，导杆4与定向导杆底座3连接，Z轴平台2另一端与下腔固定底板5连接由导杆4进行Z轴导向，XYZT四轴平台7固定于下腔6内，晶圆9固定于基底固定平台8上，压印模板10固定在压印头部11上，压印头部11与上腔12连接，压印头部11由支撑基座13固定，与导杆4连接，紫外光源14和对准机构15置于压印头部之上，控制系统主要控制16紫外光源和对准机构进行切换、XYZT四轴运动、Z轴运动、对准机构CCD可视、各气路的打开关闭。