[发明专利]高纯度硫酸溶液的制备方法及制备系统

摘要

本发明涉及一种高纯度硫酸溶液的制备方法，其是将混合溶液依序进行第一预热步骤、第二预热步骤、蒸馏步骤、蒸发步骤去除过氧化氢、水、氧气以及不溶性不纯物后，以获得含有三氧化硫、硫酸以及水的第一气体，并利用硫酸溶液吸收第一气体，以形成浓度至少96重量百分比的高纯度硫酸溶液。本发明还涉及一种用于制备高纯度硫酸溶液的系统，包含原料槽、第一硫酸纯化装置、第二硫酸纯化装置以及收集槽。应用本发明的高纯度硫酸溶液的制备方法不仅减少废液排放，大幅降低硫酸废液处理成本，而且纯化所得的高纯度硫酸溶液又可再利用于半导体产业与其他工业制程中。

主权项

一种高纯度硫酸溶液的制备方法，至少包含：提供一混合溶液，其中所述混合溶液包含硫酸、第一溶液、过氧化氢、水、氧气以及不溶性不纯物，且所述第一溶液的沸点高于硫酸的沸点；将所述混合溶液利用重力流于一大气压下依序进行第一预热步骤、第二预热步骤以及蒸馏步骤，以形成第二溶液，其中第一预热步骤去除过氧化氢、水与氧气，第二预热步骤与蒸馏步骤去除水，第一预热步骤的温度是低于第二预热步骤的温度，且第二预热步骤的温度是低于蒸馏步骤的温度；将所述第二溶液进行蒸发步骤，以于高于硫酸的沸点且低于所述第一溶液的沸点的温度下，去除不溶性不纯物以及第一溶液，并获得第一气体，其中所述第一气体包含三氧化硫、硫酸以及水；以及利用硫酸溶液吸收所述第一气体，以形成一高纯度硫酸溶液，其中所述硫酸溶液的浓度是大于96重量百分比，所述高纯度硫酸溶液的浓度是至少96重量百分比，且所述高纯度硫酸溶液的杂质是不大于0.1ppb。