[发明专利]描绘装置和物品的制造方法在审
| 申请号： | 201410169271.X | 申请日： | 2014-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN104134603A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 村木真人;平田吉洋 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/305;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 曾琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明内容涉及描绘装置和物品的制造方法。本发明提供了一种用于用带电粒子束在基板上执行描绘的描绘装置，该装置包括控制器，控制器被配置为执行对通过台架的移动和多个带电粒子光学系统中的每一个的消隐功能而执行的描绘的控制，其中，控制器被配置为关于所述多个带电粒子光学系统中的、来自其的多个带电粒子束到达在基板上形成并且彼此相邻的第一区域和第二区域的第一带电粒子光学系统执行控制，以使得在台架在第二方向上移动的情况下用该多个带电粒子束中的第一部分带电粒子束仅在第一区域和第二区域中的一个中执行描绘。 | ||
| 搜索关键词： | 描绘 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于用带电粒子束在基板上执行描绘的描绘装置，所述描绘装置包括：多个带电粒子光学系统，每个带电粒子光学系统具有单个地消隐在第一方向上排列的多个带电粒子束的消隐功能，所述多个带电粒子光学系统以一间隔在第一方向上被布置；台架，被配置为保持基板并且能够移动；以及控制器，被配置为执行对通过台架的移动和所述多个带电粒子光学系统中的每一个的消隐功能而执行的描绘的控制，其中，控制器被配置为关于所述多个带电粒子光学系统中的、来自其的多个带电粒子束到达在基板上形成并且在第一方向上彼此相邻的第一区域和第二区域的第一带电粒子光学系统执行控制，以使得在台架在第二方向上移动的情况下用该多个带电粒子束中的第一部分带电粒子束仅在第一区域和第二区域中的一个中执行描绘。
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