[发明专利]一种对位装置及对位平台有效

专利信息
申请号: 201410168466.2 申请日: 2014-04-24
公开(公告)号: CN103985662B 公开(公告)日: 2017-07-04
发明(设计)人: 韩星 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 代理人: 申健
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明实施例提供一种对位装置及对位平台,涉及显示技术领域,可减小对位过程中基板的破损,提高对位效率。该对位装置包括支架台、与所述支架台连接的支撑部件、套在所述支撑部件上的对位部件、以及与所述对位部件连接的压力传感器。用于对位装置的制备。
搜索关键词: 一种 对位 装置 平台
【主权项】:
一种对位装置,用于对支承在机台上方的基板进行对位,其特征在于,所述对位装置包括:支架台、与所述支架台连接的支撑部件、套在所述支撑部件上的对位部件、以及与所述对位部件连接的压力传感器;所述对位部件还包括对位面,所述对位面面向所述基板的侧面;所述对位部件相对所述支架台可活动,以使所述对位面与所述基板的侧面有接触;所述支撑部件包括第一支撑杆、第二支撑杆、以及至少一个垫圈;所述对位部件套在所述第一支撑杆上;其中,所述第一支撑杆远离所述对位部件的一端位于所述第二支撑杆内,所述垫圈套在所述第一支撑杆上、且所述垫圈位于所述对位部件与所述第二支撑杆之间。
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