[发明专利]一种纸基柔性触控传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种纸基柔性触控传感器，包括由纸基绝缘层和沉积于该纸基绝缘层表面的第一金属导电层共同组成的第一组件，由纸基绝缘层、沉积于该纸基绝缘层表面的第二金属导电层和涂覆在该第二金属导电层表面上的驻极体材料层共同组成的第二组件，以及联接在第一组件与第二组件之间，并呈现为具备多个孔洞的隔离层形式的第三组件。本发明还公开了相应的制造方法。通过本发明，所获得的触控传感器作为主动式传感器可获得较高的功率和灵敏度，而且其整体易于折叠弯曲，便于与其他柔性电子器件进行集成，因此可适用于与其他柔性电子装置的集成及日常生活应用。

主权项

一种纸基柔性触控传感器，其特征在于，该纸基柔性触控传感器包括：第一组件，所述第一组件由纸基绝缘层和第一金属导电层共同组成，其中第一金属导电层包括呈平面阵列式排布的多个像素单元，这些像素单元通过磁控溅射、热蒸镀或者喷墨打印的方式沉积于纸基绝缘层的整个下表面，并从每个像素单元的侧面各自引出电极以集成形成第一电极；第二组件，所述第二组件由纸基绝缘层、第二金属导电层和驻极体材料层共同组成，其中第二金属导电层同样包括呈平面阵列式排布的多个像素单元，这些像素单元通过磁控溅射、热蒸镀或者喷墨打印的方式沉积于纸基绝缘层的整个上表面且与第一金属导电层的多个像素单元相互对置，并从每个像素单元的侧面各自引出电极以集成形成第二电极；驻极体材料层的材质选自聚四氟乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚偏二氟乙烯、聚乙丙烯共聚物、聚三氟氯乙烯、乙烯四氟乙烯共聚物、偏氟乙烯三氟乙烯共聚物、聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二酯和聚二甲基硅氧烷这些材料中的一种或其组合，并通过涂覆或粘合的方式形成在第二金属导电层的整个上表面；第三组件，所述第三组件联接在第一组件与第二组件之间，并呈现为具备多个孔洞的隔离层形式，其中各个孔洞对应设置在第一、第二金属导电层两者相互对置的像素单元之间，且其形状和大小与像素单元相匹配；当按压及释放该纸基柔性触控传感器时，所述第一金属导电层与驻极体材料层之间的间隙发生变化，相互对置的像素单元之间的电容也随着发生变化并导致电子经由第一、第二电极联通的外部电路中振荡，从而产生交流电检测信号予以输出。