[发明专利]一种真空锁定腔室

摘要

本发明提供了一种真空锁定腔室，包括扩散器和充气阀，扩散器包括过滤器，过滤器位于真空锁定腔室内，且过滤器与充气阀相连，气体依次经由充气阀和过滤器输送至真空锁定腔室内，以实现对真空锁定腔室充气，过滤器设置在真空锁定腔室的中心区域，且为沿真空锁定腔室的周向设置的环形结构，以使气体在真空锁定腔室内均匀地扩散。本发明提供的真空锁定腔室，可以提高测量真空锁定腔室压力的准确性，因而可以提高充气过程中控制精度，从而可以避免过充现象的发生。

主权项

1.一种真空锁定腔室，包括扩散器和充气阀，所述扩散器包括过滤器，所述过滤器位于所述真空锁定腔室内，且所述过滤器与所述充气阀相连，气体依次经由所述充气阀和过滤器输送至所述真空锁定腔室内，以实现对所述真空锁定腔室充气，其特征在于，所述过滤器设置在所述真空锁定腔室的中心区域，且为沿所述真空锁定腔室的周向设置的环形结构，以使气体在所述真空锁定腔室内均匀地扩散；并且，所述过滤器暴露在所述真空锁定腔内的表面为自所述真空锁定腔室的顶壁凸出的环形圆弧面，且在所述环形圆弧面上均匀分布有多个排气孔，多个所述排气孔被划分为多组，每组包括多个所述排气孔，同一组排气孔位于同一个圆周上，不同组的排气孔位于不同的圆周上，气体在所述过滤器内经由多个所述排气孔输送至所述真空锁定腔室内。