[发明专利]一种面向等离子体耦合阻抗快速变化的共轭天线结构

摘要

本发明公开了一种面向等离子体耦合阻抗快速变化的共轭天线结构，包括有箱体，箱体上固定有法拉第屏蔽，箱体与法拉第屏蔽之间装有天线电流带，天线电流带包括有极向二条电流带、环向二条电流带，极向二条电流带的馈入端分别连接一个匹配电容，极向二条电流带的另一端接地，所述的匹配电容采用可调真空电容，两个匹配电容通过一个T形板与一根真空传输线连接，T形板的中心点处的阻抗虚部为零；极向二条电流带由同一根真空传输线分别通过匹配电容馈入射频功率，形成共轭结构；箱体两侧分别设有保护限制器。本发明使得整个系统处于完美的匹配状态。

主权项

一种面向等离子体耦合阻抗快速变化的共轭天线结构，其特征在于：包括有箱体、法拉第屏蔽以及天线电流带，法拉第屏蔽固定在箱体上，天线电流带安装在箱体与法拉第屏蔽之间，天线电流带为2x2的结构，即天线电流带包括有极向和环向各二条电流带，极向二条电流带的馈入端分别连接一个匹配电容，极向二条电流带另一端接地，所述的匹配电容采用可调真空电容；两个所述的匹配电容通过T形板与真空传输线连接，极向二条电流带由同一根真空传输线分别通过匹配电容馈入射频功率，形成共轭结构；所述的箱体两侧分别装有保护限制器；　所述的匹配电容在T形板的中心点处的阻抗虚部为零；　所述的法拉第屏蔽包括有竖直隔板和横隔板，将极向电流带和环向电流带隔离；　所述的法拉第屏蔽、天线电流带、箱体、保护限制器的基板材料均为316L无磁不锈钢；　所述的保护限制器的基板上安装有石墨瓦。