[发明专利]一种0-3型金属/陶瓷复合薄膜材料及其制备方法有效
申请号: | 201410145097.5 | 申请日: | 2014-04-11 |
公开(公告)号: | CN103882380A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 刘保亭;施健;代秀红;郭建新;李晓红;周阳;关丽;赵庆勋 | 申请(专利权)人: | 河北大学 |
主分类号: | C23C14/14 | 分类号: | C23C14/14;C23C14/35;C23C14/58 |
代理公司: | 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 | 代理人: | 苏艳肃 |
地址: | 071002 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种0-3型金属/陶瓷复合薄膜材料,其所含金属为Pt,所含陶瓷为Ni-Al-O;所述金属以1~200nm的颗粒状存在,金属与陶瓷材料的体积比为任意值。本发明同时还公开了其制备方法,其实采用磁控和脉冲激光共沉积的方法,通过连续沉积陶瓷层、不连续沉积金属层,然后经高温退火,获得金属/陶瓷复合薄膜材料,所制备的复合薄膜材料是一种很好的纳米光子学材料,具有在紫外至近红外区的吸收峰(100nm~2500nm)。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 陶瓷 复合 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种0‑3型金属/陶瓷复合薄膜材料,其特征是,其所含金属为Pt,所含陶瓷为Ni‑Al‑O;所述金属以1~200nm不等大小的颗粒状存在,金属与陶瓷材料的体积比为任意值。
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