专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]电池-CN202111087175.7在审
  • 赵庆勋;朴辉烈;许晋硕;梁好晶 - 三星电子株式会社
  • 2016-01-08 - 2022-01-14 - H01M4/66
  • 本发明提供一种电池。该电池包括:第一电极集流器层,具有板形状;多个第一活性材料层,电接触第一电极集流器层并基本上垂直于第一电极集流器层;导体层,电接触第一电极集流器层并插置在多个第一活性材料层中;第二活性材料层,包括平行于多个第一活性材料层且与多个第一活性材料层交替地布置的多个第一部分以及面对并平行于第一电极集流器层并从多个第一部分延伸的第二部分;和电解质层,设置在多个第一活性材料层与第二活性材料层的多个第一部分之间、多个第一活性材料层与第二活性材料层的第二部分之间、以及第二活性材料层的多个第一部分与第一电极集流器层之间。
  • 电池
  • [发明专利]一种用于铜互连的导电阻挡层材料及其制备方法-CN201310399157.1有效
  • 刘保亭;张磊;齐晨光;李晓红;代秀红;郭建新;周阳;赵庆勋;王英龙 - 河北大学
  • 2013-09-05 - 2013-12-11 - H01L23/532
  • 本发明公开了一种铜互连导电阻挡层材料及其制备方法,其采用磁控溅射法,在硅基片上依次集成非晶Nb-Ni导电阻挡层和Cu互联层。所述非晶Nb-Ni导电阻挡层的厚度为2~8000nm,优选为2~5nm,所述Cu互连层的厚度为5~8000nm,优选为5~150nm。本发明所制备的Cu/Nb-Ni/Si异质结不仅具有良好的热稳定性、抗氧化性,而且Nb-Ni阻挡层与Cu和Si之间具有良好的粘附性。Cu/Nb-Ni/Si异质结即使在高达800℃的情况下,仍能保持较低的电阻率,并且无Cu-Si化合物生成,显示出优良的阻挡性能。非晶Nb-Ni导电阻挡层的厚度最薄可至2nm,很好的满足了对22nm节点工艺要求。Nb-Ni作为新型的铜互连导电阻挡层材料,价格低廉,生产工艺简单,设备要求低,与半导体工艺可以很好的兼容,在大规模集成电路等方面具有广泛的应用前景。
  • 一种用于互连导电阻挡材料及其制备方法
  • [发明专利]一种Cu与铁性氧化物功能薄膜集成的方法-CN201010598957.2无效
  • 刘保亭;陈剑辉;边芳;赵庆勋;郭庆林;王英龙 - 河北大学
  • 2010-12-21 - 2011-06-15 - H01L21/768
  • 本发明公开了一种Cu与金属氧化物铁性薄膜的集成方法,它是以半导体材料为衬底,构成Ni-Al/半导体衬底异质结构层;再依次构架Cu/Ni-Al/半导体衬底异质结构层;Ni-Al/Cu/Ni-Al/半导体衬底异质结构、金属氧化物电极/Ni-Al/Cu/Ni-Al/半导体衬底异质结构、Pb(ZrXTi1-X)O3/金属氧化物电极/Ni-Al/Cu/Ni-Al/半导体衬底结构、金属氧化物电极/Pb(ZrXTi1-X)O3/金属氧化物电极/Ni-Al/Cu/Ni-Al/半导体衬底异质结构、Pt/金属氧化物电极/Pb(ZrXTi1-X)O3/金属氧化物电极/Ni-Al/Cu/Ni-Al/半导体衬底结构,在500-700℃下快速退火1-30min。由此克服了Cu与金属氧化物薄膜的集成过程中Cu与氧化物薄膜的直接接触,继而解决了Cu在高温生长过程中的氧化、扩散、反应以及多层膜的应力问题。
  • 一种cu氧化物功能薄膜集成方法
  • [实用新型]一种磁控和脉冲激光共沉积装置-CN200920101609.2有效
  • 刘保亭;李晓红;赵庆勋;郭庆林;王英龙 - 河北大学
  • 2009-02-23 - 2009-12-09 - C23C14/34
  • 本实用新型提供一种磁控和脉冲激光共沉积装置,其特征在于:在一个真空腔体中设置有磁控溅射靶材和脉冲激光沉积靶材和一个共用的样品台,样品台上固定沉积基片,真空腔体上开设石英窗,真空腔体外设置有用于脉冲激光沉积的激光器;磁控溅射靶材的调位机构;脉冲激光沉积靶材的转动控制机构和样品台的转动控制机构。本实用新型可以在同一套物理气相沉积系统中同时进行磁控溅射和脉冲激光沉积,充分发挥磁控溅射和脉冲激光沉积各自的优势,利用磁控溅射生长纳米薄膜结构,且在其生长的过程中利用脉冲激光沉积共溅射出一些零维或一维的纳米结构,从而实现零-三维或一-三维纳米复合纳米结构的生长。
  • 一种脉冲激光沉积装置
  • [发明专利]一种用于铜互连的导电阻挡层材料及制备方法-CN200810054756.9无效
  • 刘保亭;马良;邢金柱;霍骥川;边芳;赵庆勋;郭庆林;王英龙 - 河北大学
  • 2008-04-10 - 2008-10-15 - H01L23/532
  • 本发明提供一种用于铜互连的导电阻挡层材料,由硅衬底、导电阻挡层组成,其特征在于:导电阻挡层材料是采用磁控溅射法在硅衬底基体上生长非晶态Ti-Al二元合金薄膜,然后在Ti-Al二元合金薄膜上原位生长Cu薄膜制成。本发明利用Ti-Al材料同Si和Cu具有良好的热力学稳定性;非晶的Ti-Al薄膜不存在扩散通道,可以有效避免Cu生长过程中向硅衬底的扩散;Ti-Al薄膜具有成本低、热力学稳定性好、同Si衬底粘附性好、导电性良好、熔点高等特点。研究发现应用磁控溅射法制备的非晶态的Ti-Al薄膜可以避免Cu和Si在高温退火时发生反应,起到用于铜互连的阻挡层的功能。本发明易于控制、设备要求低、可以与半导体工艺兼容,广泛应用于微电子领域。
  • 一种用于互连导电阻挡材料制备方法

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