[发明专利]搬运系统

摘要

本发明提供了一种搬运系统，通过在承载机台、控制主机、通讯模块、搬运车及执行模块之间建立通讯，能够独立的将系统自身设备的平台与原有的搬运系统连接整合，实现自动搬送；省去了现有搬运系统中人工搬送晶圆盒至搬运设备的这一环节，提高了搬送晶圆盒的效率，同时降低了对洁净室所造成的不同程度的污染；另外在承载机台上设置惰性气体填充装置，可以在实现自动搬送的同时实现自动填充惰性气体的功能。

主权项

一种搬运系统，其特征在于，包括：承载机台、控制主机、通讯模块、搬运车及执行模块；其中，所述承载机台用于承载晶圆盒；所述控制主机与所述承载机台相连接，用于建立通讯和存储所述晶圆盒的相关信息；所述通讯模块的第一端与所述承载机台相连接，所述通讯模块的第二端与所述控制主机及所述搬运车相连接；通过所述通讯模块在所述承载机台与所述控制主机及所述搬运车之间实现通讯；所述执行模块的第一端与所述控制主机相连接，所述执行模块的第二端与所述搬运车相连接；通过所述执行模块来控制所述搬运车执行搬运操作。