[发明专利]光罩静电除尘装置

摘要

本发明提出一种光罩静电除尘装置，在光罩上下表面分别放置阴极板和阳极板，并且在阴极板和阳极板两端施加一定的电压，使阴极板和阳极板之间形成高压电场，由于阴极发生放电，使带负电的气体离子在电力场的作用下向阳极板运动，在运动中与光罩表面的颗粒相碰，使颗粒荷以负电，荷电后的颗粒在电场力的作用下，亦向阳极板运动，使颗粒沉积于阳极板上，从而到达将光罩表面颗粒完全移除的目的。

主权项

一种光罩静电除尘装置，用于对光罩的表面进行除尘清理，所述装置包括：电源、阴极板和阳极板，其中所述阴极板与电源的负极相连，所述阳极板与电源的正极相连，所述光罩位于所述阴极板和阳极板之间。