[发明专利]光罩静电除尘装置

权利要求书

1.一种光罩静电除尘装置，用于对光罩的表面进行除尘清理，所述装置包括：电源、阴极板和阳极板，其中所述阴极板与电源的负极相连，所述阳极板与电源的正极相连，所述光罩位于所述阴极板和阳极板之间。

2.如权利要求1所述的光罩静电除尘装置，其特征在于，所述电源为50HZ的2相220V交流电。

3.如权利要求2所述的光罩静电除尘装置，其特征在于，所述装置还包括升压变压器，所述升压变压器与所述电源相连。

4.如权利要求3所述的光罩静电除尘装置，其特征在于，所述装置还包括整流器，所述整流器与所述升压变压器相连，用于将电流转换成直流电流。