[发明专利]芯片对数据库的影像检测方法在审
| 申请号： | 201410128430.1 | 申请日： | 2014-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN104568979A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 骆统;杨令武;杨大弘;陈光钊 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G06F17/30;G06T5/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种芯片对数据库的影像检测方法，可选择整个晶圆中欲检查的各芯片位置。在此方法中，先选择一晶圆中欲检查的多个芯片位置中的多个检查区域，再取得所述检查区域的实际影像，并对所述实际影像的位置进行译码。然后，对所述实际影像进行影像萃取，以得到多个影像轮廓，随后比对所述轮廓与上述芯片的设计数据库，以得到缺陷检测的结果，并可实施到整个晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 数据库 影像 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种芯片对数据库的影像检测方法，包括：选择一晶圆中欲检查的多个芯片位置中的多个检查区域；取得所述检查区域的实际影像；对所述实际影像的位置进行译码；对所述实际影像进行影像萃取，以得到多个影像轮廓；以及比对所述影像轮廓与所述芯片的设计数据库(design database)，以得到所述晶圆中欲检查的所述芯片位置的缺陷检测的结果。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旺宏电子股份有限公司，未经旺宏电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410128430.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
