[发明专利]基于三光纤共球耦合的微测量力瞄准传感器

摘要

基于三光纤共球耦合的微测量力瞄准传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、扩束准直镜、光纤耦合透镜、导管、显微物镜b、CCD相机b、显微物镜a、CCD相机a、计算机和由入射光纤、耦合器、出射光纤a、出射光纤b组成的探针，耦合器作为探针的触点，光束经入射光纤导入耦合器后分别由出射光纤a和出射光纤b导出，导出光束分别经显微物镜a、显微物镜b进入CCD相机a、CCD相机b，通过图像处理技术即可得到两束出射光束分别在CCD上形成的光斑能量中心位置，由CCD相机上光斑能量中心位置与传感器触测点在空间位置的一一对应关系即可得出传感器在空间的瞄准情况；本传感器可测深径比大，具有三维探测能力。

主权项

一种基于三光纤共球耦合的微测量力瞄准传感器，所述传感器包括激光器(1)、扩束准直镜(2)、光纤耦合透镜(3)、导管(4)、探针(10)、显微物镜a(13)、CCD相机a(14)和计算机(15)，数据线将CCD相机a(14)与计算机(15)连通，探针(10)置于待测微孔(5)内，所述探针(10)包括入射光纤(6)、耦合器(7)和出射光纤a(8)，耦合器(7)作为探针(10)的触点分别与入射光纤(6)和出射光纤a(8)连接，激光器(1)发出的光束经扩束准直镜(2)和光纤耦合透镜(3)后进入入射光纤(6)，光束经入射光纤(6)导入耦合器(7)后由出射光纤a(8)导出，导出光束经显微物镜a(13)进入CCD相机a(14)，其特征在于：所述探针(10)还包括出射光纤b(9)，所述出射光纤b(9)与耦合器(7)连接，且出射光纤b(9)的末端呈80‑100°弯曲状，光束经入射光纤(6)导入耦合器(7)后由出射光纤b(9)导出，导出光束经显微物镜b(11)进入CCD相机b(12)，数据线将CCD相机b(12)与计算机(15)连通。