[发明专利]一种覆铜板的蚀刻方法无效
申请号: | 201410113168.3 | 申请日: | 2014-03-25 |
公开(公告)号: | CN103993318A | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
发明(设计)人: | 杨日福;张凡 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | C23F1/14 | 分类号: | C23F1/14 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 何淑珍 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及覆铜板蚀刻技术,公开了一种覆铜板的蚀刻方法,其特征在于用超声作用于FeCl3溶液蚀刻覆铜板。采用本发明的方法对覆铜板进行蚀刻,蚀刻效率高,蚀刻时间短,腐蚀液温度易于控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 铜板 蚀刻 方法 | ||
【主权项】:
一种覆铜板的蚀刻方法,其特征在于用超声作用于FeCl3溶液蚀刻覆铜板。
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