[发明专利]一种覆铜板的蚀刻方法无效
| 申请号： | 201410113168.3 | 申请日： | 2014-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN103993318A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 杨日福;张凡 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | C23F1/14 | 分类号： | C23F1/14 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 何淑珍 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铜板 蚀刻 方法 | ||
【权利要求书】：
1. 一种覆铜板的蚀刻方法，其特征在于用超声作用于FeCl3溶液蚀刻覆铜板。
2.如权利要求1所述的覆铜板的蚀刻方法，蚀刻过程在超声清洗槽中进行，所述超声清洗槽包括不锈钢清洗槽体、超声发生器、换能器以及加热套，换能器设置于不锈钢清洗槽体底部，加热套设置于不锈钢清洗槽体的外侧面，超声发生器与换能器电连接，不锈钢清洗槽体内装有水，水中放置装有FeCl3溶液的容器，将覆铜板放入FeCl3溶液进行蚀刻，其特征在于具体的工艺参数为：
a. FeCl3溶液的浓度为20～200mg/mL；
b. 蚀刻温度为30～80℃；
c. 超声频率为20～100kHz，超声功率密度为0.2～20W/cm2。
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