[发明专利]一种CMP划痕自动检测系统

摘要

本发明提供一种CMP划痕自动检测系统，包括：缺陷检测部件、缺陷处理部件、信号分析部件、信号比对部件和存储设备。所述CMP划痕自动检测系统克服了现有技术中不能准确计算圆弧实际长度的问题，避免人为估算的错误，从而能够及时发现有问题的晶圆，提高生产效率，进而降低晶圆的次品率。

主权项

一种CMP划痕自动检测系统，其特征在于，包括：缺陷检测部件、缺陷处理部件、信号分析部件、信号比对部件和存储设备；所述缺陷检测部件检测并记录一晶圆上的缺陷信号，且该缺陷检测部件将所述缺陷信号传送至所述缺陷处理部件；所述缺陷处理部件将所述缺陷信号转换为二值图像，并进行霍夫变换，得到反映圆弧信号的直线缺陷数据，所述直线缺陷数据进行过滤，并利用最小二乘法得出一圆弧方程，并将圆弧方程传化为反应圆弧方程的信号传送至所述信号分析部件；所述信号分析部件接收所述反应圆弧方程的信号并分析得到圆弧的有效长度；所述信号比对部件调取所述存储设备中的报废标准长度，并将该报废标准长度与获取的所述圆弧的有效长度进行比对，得到所述晶圆是否符合标准的对比结果。