[发明专利]一种CMP划痕自动检测系统

权利要求书

1.一种CMP划痕自动检测系统，其特征在于，包括：缺陷检测部件、缺陷处理部件、信号分析部件、信号比对部件和存储设备；

所述缺陷检测部件检测并记录一晶圆上的缺陷信号，且该缺陷检测部件将所述缺陷信号传送至所述缺陷处理部件；

所述缺陷处理部件将所述缺陷信号转换为二值图像，并进行霍夫变换，得到反映圆弧信号的直线缺陷数据，所述直线缺陷数据进行过滤，并利用最小二乘法得出一圆弧方程，并将圆弧方程传化为反应圆弧方程的信号传送至所述信号分析部件；

所述信号分析部件接收所述反应圆弧方程的信号并分析得到圆弧的有效长度；

所述信号比对部件调取所述存储设备中的报废标准长度，并将该报废标准长度与获取的所述圆弧的有效长度进行比对，得到所述晶圆是否符合标准的对比结果。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包含一提示部件，用于将对比结果通知给操作人员。

3.一种如权利要求1或2所述系统的应用，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、所述缺陷检测部件检测缺陷信号，且该缺陷检测部件将所述缺陷信号传送至一缺陷处理部件；

步骤二、所述缺陷处理部件将所述缺陷信号转换为二值图像，并进行霍夫变换，得到反映圆弧信号的直线缺陷数据，所述直线缺陷数据进行过滤，并利用最小二乘法得出一圆弧方程，并将圆弧方程传化为反应圆弧方程的信号传送至所述信号分析部件，

步骤三、所述信号分析部件接收所述反应圆弧方程的信号并分析得到圆弧的有效长度；

步骤四、所述信号比对部件调取所述存储设备中的报废标准长度，并将该报废标准长度与获取的所述圆弧的有效长度进行比对，得到所述晶圆是否符合标准的对比结果。

4.根据权利要求3所述的应用，其特征在于，还包含步骤五，所述步骤五为通过一预报部件将对比结果通知给操作人员。

5.根据权利要求3所述的应用，其特征在于，所述二值图像由缺陷区域和不具有缺陷的区域组成，且表示缺陷区域的颜色与所述不具有缺陷的区域的颜色不同。

6.根据权利要求5所述的应用，其特征在于，所述缺陷区域用黑点标识；所述不具有缺陷的区域用白点标识。

7.根据权利要求3所述的应用，其特征在于，在所述直线缺陷数据中，通过将所述霍夫变换的阈值提高，以过滤掉不清晰的缺陷直线数据。

8.根据权利要求3所述的应用，其特征在于，所述阀值大于或等于0.8。