[发明专利]氮化铝基陶瓷覆铜板的制备方法有效
申请号: | 201410105481.2 | 申请日: | 2014-03-20 |
公开(公告)号: | CN103819215A | 公开(公告)日: | 2014-05-28 |
发明(设计)人: | 李磊;王怀义 | 申请(专利权)人: | 李磊;王怀义 |
主分类号: | C04B37/02 | 分类号: | C04B37/02 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人: | 耿霞 |
地址: | 255400 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明属于覆铜板制造技术领域,具体涉及一种氮化铝基陶瓷覆铜板的制备方法。无氧紫铜箔前处理后,再放入熔融的硝酸钠中进行中温化学氧化处理;氮化铝基板前处理后,再经过高温氧化处理;对高温氧化后的氮化铝基板磁控溅射处理,通过将处理后的无氧紫铜箔预压成圆弧形,与氮化铝基板叠装在一起放置在链式键合炉内进行高温动态连续键合,键合后采用循序温差交替降温法处理,即得。本发明生产效率高、质量稳定、成本低,制备的氮化铝基陶瓷覆铜板具有空洞率低、热膨胀系数低、应力低、热导率高、剥离强度高、键合面积大的特点。 | ||
搜索关键词: | 氮化 陶瓷 铜板 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种氮化铝基陶瓷覆铜板的制备方法,其特征在于步骤如下:(1)无氧紫铜箔前处理后,再放入熔融的硝酸钠中进行中温化学氧化处理,在无氧紫铜箔的键合面形成一层均匀致密的Cu2O膜;(2)氮化铝基板前处理后,再经过高温氧化处理,在氮化铝基板的两面各形成一层均匀致密的Al2O3膜;(3)对高温氧化后的氮化铝基板磁控溅射处理,在两面各形成一层均匀致密的Cu2O膜;(4)通过将处理后的无氧紫铜箔预压成圆弧形,与氮化铝基板叠装在一起放置在链式键合炉内进行高温动态连续键合;(5)键合后采用循序温差交替降温法处理,即得。
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