[发明专利]一种AZO靶材及AZO透明导电薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201410105233.8 | 申请日： | 2014-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN103882384A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 王新华;叶静;严密 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/08 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高致密度AZO靶材的制备方法及用该靶材制备具有良好的光电性能AZO透明导电薄膜的方法，包括以下步骤：在介质中加入ZnO及Al2O3球磨，使其充分混合；将球磨后的样品充分干燥，加入聚乙烯醇造粒，然后用粉末压片机压制成型；用激光脉冲沉积技术（PLD）将靶材沉积到普通载玻片上。本发明所使用的原料廉价并且整个过程不用考虑气体成分的影响，工艺简单，制备的AZO透明导电薄膜具有低的电阻率、高的可见光透过率以及高的红外反射率，可满足低辐射镀膜玻璃和平板显示所用镀膜玻璃的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 azo 透明 导电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种AZO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将ZnO和Al2O3混合球磨，加入聚乙烯醇造粒，然后干燥，再压制成型，得到素坯；2）素坯经烧结后得到AZO靶材。
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