[发明专利]一种表面等离激元增强的超导单光子探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种表面等离激元增强的超导单光子探测器及其制备方法。该超导单光子探测器在基于氮化铌的超导单光子探测器的纳米线区表面布置有金纳米颗粒。其制备方法包括将含有十二烷基硫醇-金纳米颗粒的溶液滴入装有水的聚四氟乙烯容器里面；待溶剂蒸发后，在水和空气的界面形成单层的金纳米颗粒层；用聚二甲基硅氧烷蘸取单层的金纳米颗粒层；将聚二甲基硅氧烷上的单层的金纳米颗粒层转贴至基于氮化铌的超导单光子探测器的纳米线性区。相比传统的基于氮化铌的超导单光子探测器，本发明的探测器对400-1000nm波段的可见光到近红外的光子探测效率有提升，特别是对750nm的光子探测效率提升超过10倍。

主权项

一种表面等离激元增强的超导单光子探测器，其特征在于，在基于氮化铌的超导单光子探测器的纳米线区表面布置有金纳米颗粒。