[发明专利]减小闸阀开闭时振动的反应腔及机台在审
| 申请号： | 201410099788.6 | 申请日： | 2014-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN104934343A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 张军;包中诚 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁;包姝晴 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种减小闸阀开闭时振动的反应腔，该反应腔与其它腔室的连接口处设有闸阀，所述闸阀的开闭为气动控制，其设有用于控制该闸阀打开的第一气路和用于控制闸阀关闭的第二气路；闸阀的第一气路和第二气路上分别设有控制气体流量的针阀，延长闸阀开闭时间。本发明中控制闸阀开闭的气路加设针阀，调节控制闸阀开闭气路的气体流量，控制闸阀的开闭速度，用来延长闸阀的开闭时间，可从小于1秒延长至3秒，从而减少闸阀开闭做造成的振动，保证机台上其他腔室的正常工作。 | ||
| 搜索关键词： | 减小 闸阀 开闭 振动 反应 机台 | ||
【主权项】：
一种减小闸阀开闭时振动的反应腔，该反应腔与其它腔室的连接口处设有闸阀，所述闸阀的开闭为气动控制，其设有用于控制该闸阀打开的第一气路和用于控制闸阀关闭的第二气路；其特征在于，所述闸阀的第一气路和第二气路上分别设有控制气体流量的针阀，延长闸阀开闭时间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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