[发明专利]低压电弧等离子体浸没涂层气相沉积和离子处理

摘要

本发明提供一种涂覆系统及在涂覆系统中涂覆衬底的方法，该涂覆系统包括真空腔室和涂覆组件。所述涂覆组件包括蒸汽源、衬底固持器、以电力方式耦合到阴极靶上的远程阳极，以及阴极腔室组件。所述阴极腔室组件包括阴极靶、可选的主要阳极以及将所述阴极靶从所述真空腔室隔离的护罩。所述护罩界定了用于将远程电弧放电的电子发射电流从所述阴极靶传输到所述远程阳极的开口，所述电子发射电流沿着靶面长度尺寸流动。一次电源连接在所述阴极靶与所述主要阳极之间，而二次电源连接在所述阴极靶与所述远程阳极之间。典型地，线性远程阳极尺寸和蒸汽源短尺寸与一个尺寸平行，在所述尺寸中，电弧斑点被引导沿着所述阴极靶。

主权项

一种涂层系统，其特征在于，所述涂层系统包括：真空腔室；以及涂覆组件，其包括：具有靶面和线性蒸汽源尺寸的蒸汽源，所述蒸汽源具有蒸汽源长尺寸和蒸汽面短尺寸；用于固持待涂覆衬底从而使所述待涂覆衬底定位在所述蒸汽源的前方的衬底固持器，所述衬底固持器具有线性固持器尺寸；具有线性远程阳极尺寸的远程阳极；阴极腔室组件，所述阴极腔室组件包括阴极靶、主要阳极以及护罩，所述阴极靶具有线性阴极靶长尺寸和线性阴极靶短尺寸，所述护罩界定了用于将远程电弧放电的电子发射电流从所述阴极靶传输到所述远程阳极的至少一个开口，所述电流沿着所述线性蒸汽源尺寸流动，所述远程阳极电耦合到所述阴极靶，所述蒸汽源位于所述阴极腔室组件和所述远程阳极之间；连接在所述阴极靶与所述主要阳极之间的一次电源；以及连接在所述阴极靶与所述远程阳极之间的二次电源，其中电弧斑点被引导沿着所述阴极靶，以使得在涂覆期间，当约束等离子体从所述阴极靶经过涂覆区域流动到所述远程阳极的同时，衬底位于所述蒸汽源的前方，所述约束等离子体包括热等离子体射流，其用于将在阴极靶的护罩处的阴极电弧斑点与在所述远程阳极处的相关联区域相连，而同时流动通过在腔室壁与所述衬底固持器之间以及所述蒸汽源与所述衬底之间产生的通道。