[发明专利]一种三坐标移动定位ICP光源系统

摘要

一种三坐标移动定位ICP光源系统，由三坐标工作台、ICP功率匹配器和ICP等离子体光源发生设备组成，三坐标工作台位于整个系统的底层，由X向移动台、Y向移动台、Z向升降平台组成，X向移动台位于底层，Y向移动台安装在X向移动台之上、位于中层，Z向升降平台安装于Y移动台之上、位于顶层；Y向移动台机械结构和X向移动台相同，Y向移动台的Y向安装座与X向导轨滑块连接；Z向升降平台的Z向安装座与Y向移动台的Y向导轨滑块连接；ICP功率匹配器位于整个系统的中层，其下部与三坐标工作台的升降台连接、上部与ICP等离子体装置连接。本发明的有益效果：实现炬管重复准确定位，提高ICP设备的分析结果的准确性和精确度；结构紧凑，可靠性高。

主权项

一种三坐标移动定位ICP光源系统，其特征在于：由三坐标工作台、ICP功率匹配器和ICP等离子体光源发生设备三部分组成，所述三坐标工作台位于整个系统的底层，由X向移动台、Y向移动台、Z向升降平台组成，所述X向移动台、Y向移动台、Z向升降平台三坐标配置关系为：X向移动台位于底层，Y向移动台安装在X向移动台之上、位于中层，Z向升降平台安装于Y移动台之上、位于顶层；所述X向移动台由X向安装座、X向导轨滑块、X向直线导轨、X向步进电机、联轴器、第一同步轴、第一同步带轮、带轮联轴器、第二同动轴、第二同步带轮、同步带压条、同步带组成；所述X向导轨滑块包括两组、沿着X向平行固定在X向安装座的两侧，X向直线导轨包括两组、分别对应固定在两侧的X向导轨滑块上；所述X向步进电机固定在X向安装座的一端部外侧、且X向步进电机的输出轴朝Y向，X向步进电机的输出轴通过联轴器与第一同步轴连接、第一同步轴通过带轮联轴器与第二同步轴连接，第二同步轴通过带轮联轴器与第二同步带轮连接，第一同步带轮套接在第一同步轴上，第二同步带轮套接在第二同步轴上；所述X向移动台相对第一同步带轮、第二同步带轮的另一侧分别设有与第一同步带轮对称的第一从动带轮、与第二同步带轮对称的第二从动带轮，第一从动带轮、第二从动带轮均套接在从动轴上，从动轴固定设置在X向安装座的从动带轮安装盒上；所述同步带设置在第一同步带轮与第一从动带轮之间、以及第二同步带轮与第二从动带轮之间；所述Y向移动台机械结构和X向移动台相同，Y向移动台的Y向安装座与X向导轨滑块连接，且Y向安装座通过同步带压条与同步带连接；所述Z向升降平台包括Z向安装座、Z向步进电机、丝杆固定座、升降滚轮、导向圆柱、螺母楔形滑块、丝杆、Z向直线导轨、Z向导轨滑座、升降台，Z向升降平台的Z向安装座与Y向移动台的Y向导轨滑块连接，Z向步进电机固定安装在Z向安装座的一端部外侧，Z向步进电机的输出轴与丝杆的一端连接，丝杆设置在两个丝杆固定座内，丝杆固定座固定安装在Z向安装座上，Z向导轨滑座包括两组、平行固定安装在Z向安装座上，Z向直线导轨包括两组、分别安装在一组Z向导轨滑座上，每组Z向直线导轨、Z向导轨滑座构成一组直线导向组，螺母楔形滑块安装在两组并行的直线导向组上、且每组直线导向组上设有两个螺母楔形滑块，升降滚轮的下端设置在每组螺母楔形滑块的斜面上，升降滚轮的上端通过导向圆柱与升降台连接；所述ICP功率匹配器位于整个系统的中层，ICP功率匹配器的下部与三坐标工作台的升降台连接，ICP功率匹配器的上部与ICP等离子体装置连接；所述ICP等离子体光源发生设备位于整个系统的顶部，由光源安装台底座、矩管、RF线圈、炬管夹持座、铜接头、连接铜片、直角电木座组成，所述光源安装台底座通过螺钉连接在ICP功率匹配器的上端；炬管夹持座固定安装在光源安装台底座上，炬管水平安装并通过炬管夹持座固定，炬管夹持座侧边配有弹簧搭扣，通过扣合弹簧搭扣使炬管夹持座的上下夹持块夹紧炬管，便于弹簧搭扣方便拆卸和固定炬管；同时炬管还位于RF线圈内部，RF线圈的两端与铜接头连接；铜接头为直线中通接头、头部与RF线圈螺纹连接、尾部用于连接冷却水路进出接头，铜接头上表面设有螺纹孔、用于与连接铜片相接，且铜接头通过连接铜片与ICP功率匹配器连接。