[发明专利]样本检查装置有效
| 申请号： | 201410077005.4 | 申请日： | 2014-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN104034688B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 富冈纮斗;竹中敏 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/3581 | 分类号： | G01N21/3581 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及样本检查装置，能够抑制因太赫兹波的散射引起的检测精度的降低。本发明的样本检查装置（100）具有产生太赫兹波的太赫兹波产生部（30）、和载置作为被检查物的样本（2）的输送面（12），且具备构成为能够沿输送面（12）的面内方向输送样本（2）的输送部（10）、变更从太赫兹波产生部（30）射出并对被载置于输送面（12）的样本（2）照射的太赫兹波的照射方向的照射方向变更部（50）、以及检测照射至被载置于输送面（12）的样本（2）并透过或者反射的太赫兹波的太赫兹波检测部（40），照射方向变更部（50）通过变更太赫兹波产生部（30）的位置来变更照射方向。 | ||
| 搜索关键词： | 太赫兹波 输送面 样本 样本检查 照射方向变更部 照射方向 变更 照射 太赫兹波检测 被检查物 内方向 散射 检测 反射 射出 载置 | ||
【主权项】：
1.一种样本检查装置，其特征在于，具备：太赫兹波产生部，其产生太赫兹波；输送部，其构成为具有载置作为被检查物的样本的输送面，能够沿所述输送面的面内方向输送所述样本；照射方向变更部，其变更从所述太赫兹波产生部射出并对被载置于所述输送面的所述样本照射的太赫兹波的照射方向；第一太赫兹波检测部，其检测照射至被载置于所述输送面的所述样本并透过的太赫兹波；以及第二太赫兹波检测部，其检测照射至被载置于所述输送面的所述样本并反射的太赫兹波，所述照射方向变更部通过变更所述太赫兹波产生部的位置来变更所述照射方向，所述太赫兹波产生部具备：射出太赫兹波的光源；和使从所述光源射出的太赫兹波透过，并且使照射至所述样本并反射的太赫兹波向所述第二太赫兹波检测部反射的半透半反镜。
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