[发明专利]样本检查装置

说明书

本发明涉及样本检查装置，能够抑制因太赫兹波的散射引起的检测精度的降低。本发明的样本检查装置（100）具有产生太赫兹波的太赫兹波产生部（30）、和载置作为被检查物的样本（2）的输送面（12），且具备构成为能够沿输送面（12）的面内方向输送样本（2）的输送部（10）、变更从太赫兹波产生部（30）射出并对被载置于输送面（12）的样本（2）照射的太赫兹波的照射方向的照射方向变更部（50）、以及检测照射至被载置于输送面（12）的样本（2）并透过或者反射的太赫兹波的太赫兹波检测部（40），照射方向变更部（50）通过变更太赫兹波产生部（30）的位置来变更照射方向。

技术领域

本发明涉及样本检查装置。

背景技术

近年来，作为具有100GHz以上30THz以下的频率的电磁波的太赫兹波引人注目。太赫兹波能够用于成像、光谱测量等各种测量、非破坏检查等。

例如专利文献1中记载了一种对药剂（样本）照射太赫兹波，并基于透过药剂或者被药剂反射后的太赫兹波，来检查药剂是否含有异物的样本检查装置。

专利文献1：国际公开第2008／1785号

然而，专利文献1的样本检查装置仅使太赫兹波从一个方向照射药剂。因此，在专利文献1的样本检查装置中，存在太赫兹波的散射因药剂的形状、配置状态而增强，导致检测精度降低的情况。具体而言，在药剂印有字的情况下，太赫兹波的散射增强，存在检测精度降低的情况。

发明内容

本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种能够抑制因太赫兹波的散射而引起的检测精度降低的样本检查装置。

本发明所涉及的样本检查装置具备：

太赫兹波产生部，其产生太赫兹波；

输送部，其构成为具有载置作为被检查物的样本的输送面，能够沿上述输送面的面内方向输送上述样本；

照射方向变更部，其变更从上述太赫兹波产生部射出并对被载置于上述输送面的上述样本照射的太赫兹波的照射方向；以及

太赫兹波检测部，其检测照射至被载置于上述输送面的上述样本并透过或者反射的太赫兹波，

上述照射方向变更部通过变更上述太赫兹波产生部的位置，来变更上述照射方向。

根据这样的样本检查装置，能够避开太赫兹波的散射变大的照射方向来对样本照射太赫兹波。因此，这样的样本检查装置能够抑制因太赫兹波的散射引起的检测精度的降低。

在本发明所涉及的样本检查装置中，

可以具备检测位置控制部，该检测位置控制部控制上述太赫兹波检测部的位置，以便能够根据上述照射方向来检测太赫兹波。

根据这样的样本检查装置，能够具有较高的检测精度。

本发明所涉及的样本检查装置具备：

太赫兹波产生部，其产生太赫兹波；

输送部，其构成为具有载置作为被检查物的样本的输送面，能够沿上述输送面的面内方向输送上述样本；

照射方向变更部，其变更从上述太赫兹波产生部射出并对被载置于上述输送面的上述样本照射的太赫兹波的照射方向；以及

太赫兹波检测部，其检测照射至被载置于上述输送部的上述样本并透过或者反射的太赫兹波，

上述照射方向变更部包括能够使从上述太赫兹波产生部射出的太赫兹波反射的反射部，通过变更上述反射部的位置来变更上述照射方向。

根据这样的样本检查装置，通过使反射部移动，能够容易地抑制因太赫兹波的散射引起的检测精度的降低。