[发明专利]样本检查装置

权利要求书

1.一种样本检查装置，其特征在于，具备：

太赫兹波产生部，其产生太赫兹波；

输送部，其构成为具有载置作为被检查物的样本的输送面，能够沿所述输送面的面内方向输送所述样本；

照射方向变更部，其变更从所述太赫兹波产生部射出并对被载置于所述输送面的所述样本照射的太赫兹波的照射方向；

第一太赫兹波检测部，其检测照射至被载置于所述输送面的所述样本并透过的太赫兹波；以及

第二太赫兹波检测部，其检测照射至被载置于所述输送面的所述样本并反射的太赫兹波，

所述照射方向变更部通过变更所述太赫兹波产生部的位置来变更所述照射方向，

所述太赫兹波产生部具备：

射出太赫兹波的光源；和

使从所述光源射出的太赫兹波透过，并且使照射至所述样本并反射的太赫兹波向所述第二太赫兹波检测部反射的半透半反镜。

2.根据权利要求1所述的样本检查装置，其特征在于，

具备检测位置控制部，该检测位置控制部控制所述第一太赫兹波检测部以及所述第二太赫兹波检测部的位置，以便能够根据所述照射方向来检测太赫兹波。

3.根据权利要求1或2所述的样本检查装置，其特征在于，

所述输送部构成为能够将所述样本排列成从所述照射方向观察时所述样本不重叠。

4.根据权利要求1或2所述的样本检查装置，其特征在于，

所述太赫兹波产生部包括：

光脉冲产生部，其产生光脉冲；以及

光电导天线，其被照射由所述光脉冲产生部产生的光脉冲。

5.根据权利要求1或2所述的样本检查装置，其特征在于，具备：

照射方向决定部，其基于在所述第一太赫兹波检测部和所述第二太赫兹波检测部的至少一方中检测出的太赫兹波来决定所述照射方向；以及

照射方向控制部，其基于所述照射方向决定部的决定来控制所述照射方向变更部。

6.一种样本检查装置，其特征在于，具备：

太赫兹波产生部，其产生太赫兹波；

输送部，其构成为具有载置作为被检查物的样本的输送面，能够沿所述输送面的面内方向输送所述样本；

照射方向变更部，其变更从所述太赫兹波产生部射出并对被载置于所述输送面的所述样本照射的太赫兹波的照射方向；

第一太赫兹波检测部，其检测照射至被载置于所述输送部的所述样本并透过的太赫兹波；以及

第二太赫兹波检测部，其检测照射至被载置于所述输送部的所述样本并反射的太赫兹波，

所述照射方向变更部包括能够使从所述太赫兹波产生部射出的太赫兹波反射的反射部，通过变更所述反射部的位置来变更所述照射方向，

所述太赫兹波产生部具备：

射出太赫兹波的光源；和

使从所述光源射出的太赫兹波透过，并且使照射至所述样本并反射的太赫兹波向所述第二太赫兹波检测部反射的半透半反镜。

7.根据权利要求6所述的样本检查装置，其特征在于，

所述输送部构成为能够将所述样本排列成从所述照射方向观察时所述样本不重叠。

8.根据权利要求6或7所述的样本检查装置，其特征在于，

所述太赫兹波产生部包括：

光脉冲产生部，其产生光脉冲；以及

光电导天线，其被照射由所述光脉冲产生部产生的光脉冲。

9.根据权利要求6或7所述的样本检查装置，其特征在于，具备：

照射方向决定部，其基于在所述第一太赫兹波检测部和所述第二太赫兹波检测部的至少一方中检测出的太赫兹波来决定所述照射方向；以及

照射方向控制部，其基于所述照射方向决定部的决定来控制所述照射方向变更部。