[发明专利]一种高反射高绒度复合结构背电极及其制备方法

摘要

一种高反射高绒度复合结构背电极，采用Al/ZnO/Ag/ZnO复合结构，由衬底、Al薄膜、阻挡层薄膜、Ag薄膜和介质层薄膜组成并形成叠层结构，Al薄膜具有对长波光陷光作用显著的大绒面结构；阻挡层薄膜和介质层薄膜为不掺杂和掺杂ZnO薄膜等材料，其中阻挡层薄膜具有防止形成银铝合金的作用；金属Ag薄膜具有对太阳光具有宽谱域高反射特性。本发明的优点是：金属Al形成的大绒面结构，可增强太阳光的散射能力，对太阳光具有宽谱域的高反射特性，可增强太阳光的反射能力，对400-1200纳米范围内的光反射率超过90%，提高太阳光利用率；金属Ag薄膜的厚度降低，降低了成本，提高了器件稳定性。

主权项

一种高反射高绒度复合结构背电极，其特征在于：采用Al/ZnO/Ag/ZnO复合结构，由衬底、Al薄膜、阻挡层薄膜、Ag薄膜和介质层薄膜组成并形成叠层结构，Al薄膜具有对长波光陷光作用显著的大绒面结构，其表面颗粒直径为100‑2000nm、表面均方根粗糙度为50‑200nm、厚度为300‑2000nm；阻挡层薄膜具有防止形成银铝合金的作用，厚度为2‑100nm；金属Ag薄膜具有对太阳光具有宽谱域高反射特性，其表面颗粒尺寸为10‑200nm、表面均方根粗糙度为10‑40nm、厚度为50‑500nm；介质层薄膜的厚度为100‑2000nm。