[发明专利]光刻胶喷嘴器件和光刻胶供应系统在审
| 申请号： | 201410075233.8 | 申请日： | 2014-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN104730866A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 曾国书;陈有峰;陈彦羽 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了包括光刻胶喷嘴器件的光刻胶供应系统的实施例。该光刻胶喷嘴器件包括管，该管包括第一部分、连接至第一部分的曲线部分和连接至曲线部分的第二部分。光刻胶喷嘴器件还包括连接至第二部分的喷嘴。本发明还提供了光刻胶喷嘴器件及光刻胶供应系统。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 喷嘴 器件 供应 系统 | ||
【主权项】：
一种光刻胶喷嘴器件，包括：管，包括第一部分、连接至所述第一部分的曲线部分和连接至所述曲线部分的第二部分；以及喷嘴，连接至所述第二部分。
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