[发明专利]光刻胶喷嘴器件和光刻胶供应系统在审
| 申请号： | 201410075233.8 | 申请日： | 2014-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN104730866A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 曾国书;陈有峰;陈彦羽 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 喷嘴 器件 供应 系统 | ||
1.一种光刻胶喷嘴器件，包括：
管，包括第一部分、连接至所述第一部分的曲线部分和连接至所述曲线部分的第二部分；以及
喷嘴，连接至所述第二部分。
2.根据权利要求1所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述管由透光材料制成。
3.根据权利要求1所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述曲线部分具有直径和比所述直径长约2.5至约15倍的弧长度。
4.根据权利要求1所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述第一部分沿着水平方向延伸，而所述第二部分沿着垂直方向延伸。
5.根据权利要求1所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述曲线部分基本沿着圆形路径延伸。
6.根据权利要求5所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述曲线部分具有连接至所述第一部分的第一端和连接至所述第二部分的第二端，且在所述第一端处的所述圆形路径具有第一切线，且所述第一部分基本沿着所述第一切线延伸。
7.根据权利要求5所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述曲线部分具有连接至所述第一部分的第一端和连接至所述第二部分的第二端，且在所述第二端处的所述圆形路径具有第二切线，且所述第二部分基本沿着所述第二切线延伸。
8.一种用于涂覆装置的光刻胶喷嘴器件，包括：
保持框架，具有接收槽，位于所述涂覆装置中；
管，设置在所述保持框架上，包括第一部分、连接至所述第一部分且位于所述接收槽中的曲线部分和连接至所述曲线部分的第二部分；以及
喷嘴，连接至所述第二部分。
9.根据权利要求8所述的光刻胶喷嘴器件，其中，所述保持框架包括第一壁和连接至所述第一壁的第二壁，其中，所述第一壁和所述第二壁形成所述接收槽，所述第一部分穿过所述第一壁，且所述第二部分穿过所述第二壁。
10.一种光刻胶供应系统，包括：
缓冲罐，容纳光刻胶液体；
泵，与所述缓冲罐连接，且接收所述光刻胶液体；
管，包含与所述泵连接的第一部分，连接至所述第一部分的曲线部分和连接至所述曲线部分的第二部分；以及
喷嘴，连接至所述第二部分；
其中，所述泵将所述光刻胶液体通过所述管输送至所述喷嘴。
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