[发明专利]一种可动电感电极结构以及制备方法有效
| 申请号： | 201410073069.7 | 申请日： | 2014-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN104876176B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 叶菲 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可动电感电极结构以及制备方法，所述可动电感电极结构，包括：上下隔离设置的上极板和下极板，用于形成MEMS中可变电容的两个电极板，其中所述上极板和所述下极板均选用平面螺旋电感，以使所述上极板和所述下极板在通电情况下相互运动。本发明所述电极结构一方面，可以像普通电容一样测两极板的电容算出极板距离的，对于加速度传感器即可换算成加速度。另一方面，还可以测得由于极板靠近引起的磁感应电流，即电容极板距离变化的速度，通过换算测量出运动加速度的变化速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电感 电极 结构 以及 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS可动电感电极结构，包括：上下隔离设置的上极板和下极板，用于形成MEMS中可变电容的两个电极板，其中所述上极板和所述下极板均选用平面螺旋电感，以使所述上极板和所述下极板在通电情况下相互运动，以解决所述上极板和所述下极板靠近后不能靠极板的静电力分开的问题。
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