[发明专利]一种氮化镓LED蓝宝石衬底柔性电子应用的激光剥离方法

摘要

本发明公开了一种氮化镓LED蓝宝石衬底柔性电子应用的激光剥离方法，使用大功率而且作用时间很短的激光发射，在介面区域产生足够的热量使氮化镓分解成金属镓和氮气，并且由于激光的作用时间很短，热量较为集中，故分解的氮化镓只有介面附近的几百纳米厚，不会破坏氮化镓LED的核心区域；在照射过后，介面区域将只有一层由氮化镓分解而留下的镓金属，它将蓝宝石衬底与氮化镓连接起来；加热将氮化镓与蓝宝石衬底分开；用稀释的盐酸溶液去除分离之后氮化镓上的镓金属殘留。相对于现有技术，本发明可以用简单快速的方法，有效地将整个LED阵列原样地对蓝宝石衬底进行剥离与转移。

主权项

一种氮化镓LED蓝宝石衬底柔性电子应用的激光剥离方法，其特征在于，具体步骤如下：步骤一、用粘合剂将氮化镓LED粘连到支撑衬底上，氮化镓LED的氮化镓侧与支持衬底相粘连，露出氮化镓LED的蓝宝石侧；步骤二、将粘连后的氮化镓LED放置于激光光路上的焦点处，氮化镓LED的蓝宝石侧正对激光射入的路径，调整激光束的光斑大小，使光斑能整体覆盖氮化镓LED；步骤三、逐步调高激光的脉冲能量，利用单脉冲将激光束能介面处的氮化镓分解； 步骤四、将经过分解处理的氮化镓LED加热，使得由氮化镓分解而遗留的镓处于熔融状态，从中移除蓝宝石；步骤五、去除遗留的镓金属，并清洗经过步骤一至四处理的氮化镓LED；步骤六、将经过清洗的氮化镓LED与目标衬底相粘合。