[发明专利]用于后侧绝对压力传感器的罩结合结构和方法在审
| 申请号： | 201410058939.3 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN104310299A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | X.丁 | 申请（专利权）人： | 大陆汽车系统公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;G01L9/02;G01L1/20;G01L19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 董均华;何逵游 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种压力传感器包括压力感测元件，所述压力感测元件具有隔膜、腔室、以及连接到隔膜的桥接电路。顶表面形成为压力感测元件的一部分，使得顶表面的至少一部分是隔膜的一部分，多个压敏电阻器位于顶表面上。罩通过使用多层结合到顶表面，所述层之一是二氧化硅层，另一层是氮化硅层，另一层是氧化物层，另一层是多晶硅层。所述多层提供罩和压力感测元件的顶表面之间的合适结合。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 绝对 压力传感器 结合 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种设备，包括：压力传感器，所述压力传感器包括：压力感测元件；腔室，作为压力感测元件的一部分形成；结合机构；罩，连接到压力感测元件的顶表面；以及隔膜，作为压力感测元件的一部分形成，从而隔膜的至少一部分形成腔室的一部分；其中，所述罩用结合机构结合到压力感测元件的顶表面。
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