[发明专利]一种制备铌靶材的方法有效
| 申请号： | 201410054777.6 | 申请日： | 2014-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN103757592B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 汪凯;李桂鹏;刘守田;张国军;张春恒;同磊;李兆博;孙伟 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备铌靶材的方法，包括以下步骤a）将铌锭进行热处理，将热处理后的铌锭钻孔；b）将步骤a）得到的铌锭的内表面与外表面包覆第一金属材料，将得到的铌锭抽真空；c）将步骤b）得到的铌锭的内表面和外表面包覆第二金属材料；d）将步骤c）得到的铌锭进行热挤压。本申请在制备铌靶材的过程中，通过在铌锭的内表面与外表面依次包覆第一金属材料于第二金属材料，有效地避免了铌靶材在制备过程中的吸氢吸氧，并且易于铌靶材的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 铌靶材 方法 | ||
【主权项】：
一种制备铌靶材的方法，包括以下步骤：a)将铌锭进行热处理，将热处理后的铌锭钻孔；b)将步骤a)得到的铌锭的内表面与外表面包覆第一金属材料，将得到的铌锭抽真空；所述第一金属材料为A3钢，所述第一金属材料的厚度为1mm～2mm；c)将步骤b)得到的铌锭的内表面和外表面包覆第二金属材料；所述第二金属材料为铜，所述第二金属材料的厚度为1mm～2mm；d)将步骤c)得到的铌锭进行热挤压。
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