[发明专利]一种在受控衬底剥脱期间促进开裂萌生的方法

摘要

本发明涉及一种在受控衬底剥脱期间促进开裂萌生的方法。提供了一种方法，其中，能够以受控方式剥脱包括不同的断裂韧度（K_Ic）的各种材料的衬底。特别地，在应力源层形成之前，在衬底的表面部分内形成表面台阶区域。在衬底的表面部分内的表面台阶区域的存在，能够控制在所述衬底内出现开裂萌生的深度和容易性。

主权项

一种用于从衬底去除材料层的方法，所述方法包括：提供衬底，所述衬底从下到上包括基础部分和表面部分，所述基础部分包含至少一种第一材料并具有第一断裂韧度，以及所述表面部分包含至少一种第二材料并具有第二断裂韧度，其中，所述第二断裂韧度不同于所述第一断裂韧度，以及其中表面台阶区域位于所述衬底的每个垂直边缘处且在所述衬底的前侧上；在所述衬底的所述前侧的顶上形成应力源层；通过剥脱从所述衬底去除材料层，其中，开裂传播仅发生在所述第一材料或所述第二材料中的一者中。