[发明专利]电镀工艺的可调整电流屏蔽无效
| 申请号： | 201410054049.5 | 申请日： | 2014-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN103993345A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | G·W·桑德曼;K·斯瑞;C·施罗伊夫 | 申请（专利权）人： | 格罗方德半导体公司 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 英属开曼群*** | 国省代码： | 开曼群岛;KY |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电镀工艺的可调整电流屏蔽，本文所揭示的一个例示性镀覆设备包括适用于收置基板的基本保持器、阳极以及置于基板保持器与阳极之间的可调整式电流屏蔽。在此例示性具体实施例中，可调整式电流屏蔽包括固定式构件、适用于相对于固定式构件移动的可移动式构件、以及有效耦接于固定式构件或可移动式构件的多个电流屏蔽构件，其中，每一个电流屏蔽构件都可转动性地钉于(pinned to)固定式构件或可移动式构件，以及其中，每一个电流屏蔽构件都适用于在可移动式构件与固定式构件之间有相对移动时转动。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 工艺 可调整 电流 屏蔽 | ||
【主权项】：
一种镀覆设备，包含：适用于容置基板的基板保持器；阳极；以及置于该基板保持器与该阳极之间的可调整式电流屏蔽，其中，该可调整式电流屏蔽包含：固定式构件；适用于相对于该固定式构件移动的可移动式构件；以及有效耦接至该固定式构件与该可移动式构件的多个电流屏蔽构件，其中，该多个电流屏蔽构件的每一个可转动地钉于该固定式构件或该可移动式构件之一，以及其中，该电流屏蔽构件的每一个适用于在该可移动式构件与该固定式构件之间有相对移动时转动。
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