[发明专利]有机EL器件制造装置及有机EL器件制造方法无效
| 申请号： | 201410045124.1 | 申请日： | 2014-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN103981490A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 木谷友香;柳泽孝一;井崎良;武居彻也 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;李文屿 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种在形成高精细的像素的基础上、能够成膜为该像素应有的位置、大小、形状的有机EL器件制造装置或有机EL器件制造方法。本发明的特征在于，对磁性体的掩模施加规定的第1磁力强度，使所述掩模紧贴于被蒸镀基板，经过了规定时间后，以比所述第1磁力强度提高了强度而成的第2磁力强度使所述掩模紧贴于所述被蒸镀基板，在真空状态下借助所述掩模将蒸镀材料蒸镀在所述被蒸镀基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 el 器件 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种有机EL器件制造方法，其特征在于，对磁性体的掩模施加规定的第1磁力强度，使所述掩模紧贴于被蒸镀基板，经过了规定时间后，以比所述第1磁力强度提高了强度而成的第2磁力强度使所述掩模紧贴于所述被蒸镀基板，在真空状态下借助所述掩模将蒸镀材料蒸镀在所述被蒸镀基板上。
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