[发明专利]光学模块、电子设备以及分光照相机

摘要

本发明提供具有高分辨率的光学模块、电子设备以及分光照相机。其中，光学模块（10）具备：固定反射膜（541），可动反射膜（542），具有在俯视观察中通过施加电压可分别独立驱动的多个部分驱动部的第一驱动单元，使固定反射膜（541）与可动反射膜（542）之间的间隙尺寸变化的第二驱动单元，以及向部分驱动部施加第一驱动电压、向上述第二驱动单元施加第二驱动电压的电压控制部（15），电压控制部（15）施加根据改变间隙尺寸时的固定反射膜（541）和可动反射膜（542）的平行度、按每个部分驱动部设定的第一驱动电压。

主权项

1.一种光学模块，其特征在于，具备：第一基板，其上设置有第一反射膜，所述第一反射膜使入射光的一部分反射一部分透过；第二基板，其上设置有第二反射膜，所述第二反射膜与所述第一反射膜相对，使入射光的一部分反射一部分透过；第一驱动单元，具有在从厚度方向观察所述第一反射膜和所述第二反射膜时，设置在光在所述第一反射膜和所述第二反射膜之间干涉的光干涉区域外、通过施加电压能够分别独立驱动的多个部分驱动部，并且，所述第一驱动单元包括设置在所述第一基板上的第二电极和设置在所述第二基板上的第四电极；第二驱动单元，使所述第一反射膜与所述第二反射膜之间的间隙尺寸变化，所述第二驱动单元包括设置在所述第一基板上的第一电极和设置在所述第二基板上的第三电极；电压控制部，向多个所述部分驱动部中的各个部分驱动部施加第一驱动电压，向所述第二驱动单元施加第二驱动电压；以及间隙检测单元，检测所述间隙尺寸，所述第一驱动电压是根据改变所述间隙尺寸时的所述第一反射膜和所述第二反射膜的平行度、按每个所述部分驱动部施加的，所述电压控制部通过向所述第一驱动单元施加所述第一驱动电压，驱动所述第一驱动单元之后，向所述第二驱动单元施加与所述间隙检测单元检测到的间隙量相应的反馈电压。