[发明专利]光学模块、电子设备以及分光照相机

说明书

本发明提供具有高分辨率的光学模块、电子设备以及分光照相机。其中，光学模块（10）具备：固定反射膜（541），可动反射膜（542），具有在俯视观察中通过施加电压可分别独立驱动的多个部分驱动部的第一驱动单元，使固定反射膜（541）与可动反射膜（542）之间的间隙尺寸变化的第二驱动单元，以及向部分驱动部施加第一驱动电压、向上述第二驱动单元施加第二驱动电压的电压控制部（15），电压控制部（15）施加根据改变间隙尺寸时的固定反射膜（541）和可动反射膜（542）的平行度、按每个部分驱动部设定的第一驱动电压。

技术领域

本发明涉及光学模块、电子设备以及分光照相机。

背景技术

现有技术中，已知有一种波长可变干涉滤波器，具有一对彼此相对的反射膜，通过使该反射膜间的距离发生变化，从而从测定对象的光中取出规定波长的光(例如参考专利文献1)。

该专利文献1所述的波长可变干涉滤波器(光谐振器)具备彼此相对的第一基板和第二基板、分别配置在各基板上且隔着反射膜间间隙彼此相对的反射膜、以及分别配置在各基板上且彼此相对的电极。而且，可动侧的基板上设置有隔膜。

在这种波长可变干涉滤波器上，可以通过向电极间施加电压，利用隔膜使第二基板变形，调整反射膜间间隙。

然而，上述专利文献1所示的波长可变干涉滤波器由于是具有隔膜的结构，因此存在在控制反射膜间间隙时，因隔膜的厚度不均匀导致各反射膜的平行性恶化，其结果分辨率恶化的问题。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平7-243963号公报

发明内容

本发明的目的在于提供具有高分辨率的光学模块、电子设备以及分光照相机。

本发明的光学模块，其特征在于，具备：第一反射膜，使入射光的一部分反射一部分透过；第二反射膜，隔着间隙与上述第一反射膜相对，使入射光的一部分反射一部分透过；第一驱动单元，具有在从厚度方向观察到的上述第一反射膜和上述第二反射膜的俯视观察中，设置在由上述第一反射膜和上述第二反射膜形成的光干涉区域外、通过施加电压可分别独立驱动的多个部分驱动部；第二驱动单元，使上述第一反射膜与上述第二反射膜之间的间隙尺寸变化；以及电压控制部，向上述部分驱动部施加第一驱动电压，向上述第二驱动单元施加第二驱动电压，上述电压控制部施加根据改变上述间隙尺寸时的上述第一反射膜和上述第二反射膜的平行度、按每个上述部分驱动部设定的第一驱动电压。

在本发明中，电压控制部施加按每个部分驱动部设定的第一驱动电压。该第一驱动电压是根据改变间隙尺寸时的第一反射膜和第二反射膜的平行度设定的电压。通过施加这样的电压，不同的应力分别作用于各部分驱动部，以使第一反射膜和第二反射膜保持平行的方式进行控制。由此，可以改善由于波长可变干涉滤波器中的各基板的厚度不均匀引起的各反射膜的平行性的恶化。由此，可以在各反射膜保持高度平行的状态下使反射膜间间隙变化，可以取出分辨率高、即半高宽窄的光。另外，由于可以在各反射膜保持高度平行的状态下控制反射膜间间隙，因此在进行面分光时的波长精度也提高。

本发明的光学模块优选，具备检测上述间隙尺寸的间隙检测单元，上述电压控制部通过向上述第一驱动单元施加上述第一驱动电压，将上述间隙尺寸驱动规定量之后，向上述第二驱动单元施加与上述间隙检测单元检测到的间隙量相应的反馈电压。

在本发明中，利用第一驱动单元驱动规定量间隙尺寸之后，根据检测到的间隙尺寸设定并施加向上述第二驱动单元施加的反馈电压。

即，在本发明中，针对目标间隙尺寸，通过第一驱动单元变位到目标间隙尺寸附近，根据间隙检测部检测的间隙尺寸，利用第二驱动单元对剩余的间隙尺寸进行微调。