[发明专利]一种基于串级控制的微环境压力调度方法有效

专利信息
申请号: 201410042944.5 申请日: 2014-01-29
公开(公告)号: CN103757609A 公开(公告)日: 2014-04-30
发明(设计)人: 刘建涛;钟结实;王春洪;徐冬 申请(专利权)人: 北京七星华创电子股份有限公司
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/455
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;林彦之
地址: 100016 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种基于串级控制的微环境压力调度方法包括根据物料供应环境系统特点建立传递函数反应模型;引入参考输入偏差积分系统,建立增广状态状态方程;获取该环境系统系统状态反馈调节控制律;通过物料供应系统的闭环特征方程式求得控制律参数;检测并接收环境压力和氧气指标信号,根据反馈误差以及状态反馈调节控制律参数,动态调节输入物料流量和风机功率机构,以控制环境压力指标。因此,本发明的环境系统排气终端接入真空泵系统,以环境压力为主环路调节指标,环境氧气为外环调节指标,组成双闭环调节结构,并基于系统反应模型,把环境压力和氧气指标作为检测信号,根据设计出的控制律和反馈误差动态调节输入物料流量和风机功率,快速实现环境指标。
搜索关键词: 一种 基于 控制 环境 压力 调度 方法
【主权项】:
一种基于串级控制的微环境压力调度方法,其特征在于,所述方法具体包括如下步骤:步骤S1:根据物料供应环境系统特点建立传递函数反应模型;其中,所述物料供应环境系统包括两个串级控制的环境压力调节模块和环境氧气调节模块,以环境压力为主环路调节指标,环境氧气为外环调节指标,组成双闭环调节结构;所述环境系统排气终端接入真空泵系统;步骤S2:引入参考输入偏差积分系统,建立增广状态状态方程;步骤S3:获取物料供应环境系统系统状态反馈调节控制律;步骤S4:通过物料供应系统的闭环特征方程式求得所述状态反馈调节控制律参数;步骤S5:检测并接收环境压力和氧气指标信号,根据反馈误差以及所述状态反馈调节控制律参数,动态调节输入物料流量和风机功率机构,以控制环境压力指标。
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