[发明专利]一种基于串级控制的微环境压力调度方法有效
申请号: | 201410042944.5 | 申请日: | 2014-01-29 |
公开(公告)号: | CN103757609A | 公开(公告)日: | 2014-04-30 |
发明(设计)人: | 刘建涛;钟结实;王春洪;徐冬 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/52 | 分类号: | C23C16/52;C23C16/455 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;林彦之 |
地址: | 100016 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种基于串级控制的微环境压力调度方法包括根据物料供应环境系统特点建立传递函数反应模型;引入参考输入偏差积分系统,建立增广状态状态方程;获取该环境系统系统状态反馈调节控制律;通过物料供应系统的闭环特征方程式求得控制律参数;检测并接收环境压力和氧气指标信号,根据反馈误差以及状态反馈调节控制律参数,动态调节输入物料流量和风机功率机构,以控制环境压力指标。因此,本发明的环境系统排气终端接入真空泵系统,以环境压力为主环路调节指标,环境氧气为外环调节指标,组成双闭环调节结构,并基于系统反应模型,把环境压力和氧气指标作为检测信号,根据设计出的控制律和反馈误差动态调节输入物料流量和风机功率,快速实现环境指标。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 控制 环境 压力 调度 方法 | ||
【主权项】:
一种基于串级控制的微环境压力调度方法,其特征在于,所述方法具体包括如下步骤:步骤S1:根据物料供应环境系统特点建立传递函数反应模型;其中,所述物料供应环境系统包括两个串级控制的环境压力调节模块和环境氧气调节模块,以环境压力为主环路调节指标,环境氧气为外环调节指标,组成双闭环调节结构;所述环境系统排气终端接入真空泵系统;步骤S2:引入参考输入偏差积分系统,建立增广状态状态方程;步骤S3:获取物料供应环境系统系统状态反馈调节控制律;步骤S4:通过物料供应系统的闭环特征方程式求得所述状态反馈调节控制律参数;步骤S5:检测并接收环境压力和氧气指标信号,根据反馈误差以及所述状态反馈调节控制律参数,动态调节输入物料流量和风机功率机构,以控制环境压力指标。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的