[发明专利]一种蚀刻药水监控方法及装置

摘要

本发明适用于蚀刻药水监控技术领域，提供了一种蚀刻药水监控方法及装置，所述方法包括：获取蚀刻药水添加过程中的监控信息，所述监控信息包括工艺参数；在所述监控信息中提取工艺参数，根据所述工艺参数生成预设格式的监控文件；其中，所述工艺参数包括比重当前值、盐酸当前值、氧化剂当前值、比重上限值、盐酸上限值、氧化剂上限值、比重目标值、盐酸目标值、氧化剂目标值、比重下限值、盐酸下限值、氧化剂下限值之一或其组合。本发明可以直观显示系统运行的实时状态，对蚀刻添加系统运行的稳定性进行实时反馈，后续用户可以根据系统运行的实时状态以及保存的历史参数，对控制系统运行的稳定性进行调整。

主权项

1.一种蚀刻药水监控方法，其特征在于，包括：获取蚀刻药水添加过程中的监控信息，所述监控信息包括工艺参数；在所述监控信息中提取工艺参数，根据所述工艺参数生成预设格式的监控文件；其中，所述工艺参数包括比重当前值、盐酸当前值、氧化剂当前值、比重上限值、盐酸上限值、氧化剂上限值、比重目标值、盐酸目标值、氧化剂目标值、比重下限值、盐酸下限值、氧化剂下限值之一或其组合；其中，比重当前值为比重监测器当前检测到的蚀刻药水的密度与清水的密度的比值，盐酸当前值为盐酸监测器当前检测到的导电率的电流值转换生成的数值，氧化剂当前值为氧化剂监测器当前检测到的氧化还原反应的电压值转换生成的数值；其中，所述预设格式包括表格、柱形图、折线图、饼图中的一种或多种；所述监控信息还包括报警参数，所述报警参数是指蚀刻药水添加系统发生报警时的参数；在所述监控信息中提取报警参数；根据所述报警参数生成预设格式的监控文件；在根据所述报警参数生成预设格式的监控文件之后，还包括：获取用户修改的工艺参数和报警参数；检测修改的工艺参数和报警参数是否在预设范围内，若是将修改的工艺参数和报警参数替换之前的工艺参数和报警参数。