[发明专利]探针卡与其制作方法

摘要

本发明提供一种探针卡与其制作方法，该探针卡包含配线基板、转接部、至少一电子元件与至少一探针。配线基板具有相对的晶圆侧与测试侧。配线基板包含至少一焊点，焊点位于晶圆侧上。转接部位于晶圆侧上，且转接部具有至少一贯穿孔于其中。贯穿孔暴露出配线基板的焊点。电子元件的焊点端电连接焊点，电子元件相对焊点端的转接端电连接转接部；探针电连接转接部，以此在集成电路的元件封装前便可取得可靠的测试结果。

主权项

一种探针卡，其特征在于，所述探针卡包含：一配线基板，具有相对的一晶圆侧与一测试侧，且所述配线基板包含至少一焊点，所述焊点位于所述晶圆侧上；一转接部，位于所述晶圆侧上，且所述转接部具有至少一贯穿孔于其中，所述贯穿孔暴露出所述配线基板的所述焊点；至少一电子元件，所述电子元件的一焊点端电连接所述焊点，所述电子元件相对所述焊点端的一转接端电连接所述转接部；以及至少一探针，电连接所述转接部。