[发明专利]微桥结构红外探测器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种微桥结构红外探测器及其制造方法。所述探测器包括：读出电路衬底、微桥桥腿、热敏感层、红外反射层以及红外吸收层。所述红外吸收层支撑设置于所述热敏感层的上方，并与所述红外反射层形成针对入射红外光的谐振腔，所述微桥桥腿置于红外反射层下方，并与读出电路衬底形成电学链接。上述结构能够在降低器件热导的同时增加器件红外吸收率，提高了器件的填充率，解决谐振腔缺陷，从而提高了器件热隔离效果和响应率，优化器件性能。

主权项

一种微桥结构红外探测器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底的上表面设置有电极；桥腿，所述桥腿采用导电材料制成，所述桥腿支撑设置于所述衬底上方，支撑点位于所述衬底上表面的电极处，从而与所述电极电学连接；热敏感层，所述热敏感层设置于所述桥腿上方，并通过设置在所述热敏感层通孔中的电连接支架支撑设置于所述桥腿的表面，所述电连接支架用于所述热敏感层与所述桥腿进而与所述电极的电学连接；红外反射层，所述红外反射层设置于所述桥腿与所述热敏感层之间，并通过介质层与所述热敏感层悬空部分的下表面贴合；红外吸收层，所述红外吸收层支撑设置于所述热敏感层的表面，吸收入射红外光，转化成热量传导至所述热敏感层，所述红外吸收层进一步与所述红外反射层形成针对入射红外光的谐振腔。