[发明专利]微桥结构红外探测器及其制造方法

权利要求书

1.一种微桥结构红外探测器，其特征在于，包括：

衬底，所述衬底的上表面设置有电极；

桥腿，所述桥腿采用导电材料制成，所述桥腿支撑设置于所述衬底上方，支撑点位于所述衬底上表面的电极处，从而与所述电极电学连接；

热敏感层，所述热敏感层设置于所述桥腿上方，并通过设置在所述热敏感层通孔中的电连接支架支撑设置于所述桥腿的表面，所述电连接支架用于所述热敏感层与所述桥腿进而与所述电极的电学连接；

红外反射层，所述红外反射层设置于所述桥腿与所述热敏感层之间，并通过介质层与所述热敏感层悬空部分的下表面贴合；

红外吸收层，所述红外吸收层支撑设置于所述热敏感层的表面，吸收入射红外光，转化成热量传导至所述热敏感层，所述红外吸收层进一步与所述红外反射层形成针对入射红外光的谐振腔。

2.根据权利要求1所述的微桥结构红外探测器，其特征在于，所述桥腿的本体部分处于一与衬底平行的第一平面内，并通过自弯折形成的支架支撑设置于所述电极的表面。

3.根据权利要求1所述的微桥结构红外探测器，其特征在于，所述热敏感层和电连接支架的本体部分处于一与衬底平行第二平面内，所述电连接支架进一步通过自弯折形成的支架支撑设置于所述桥腿的表面。

4.根据权利要求1所述的微桥结构红外探测器，其特征在于，所述红外吸收层的本体部分处于一与衬底平行第三平面内，并通过自弯折形成的支架支撑设置于所述热敏感层的表面。

5.根据权利要求1所述的微桥结构红外探测器，其特征在于，所述衬底、桥腿、热敏感层以及红外吸收层的表面进一步具有覆盖层。

6.根据权利要求1所述的微桥结构红外探测器，其特征在于，所述桥腿的材料选自于钛、氮化钛和钽中的任意一种。

7.根据权利要求1所述的微桥结构红外探测器，其特征在于，所述热敏感层的材料选自于非晶硅和氧化钒中的任意一种。

8.根据权利要求1所述的微桥结构红外探测器，其特征在于，所述电连接支架的材料选自于钛、钽、镍、铬、氮化钛、以及镍铬合金中的任意一种。

9.根据权利要求1所述的微桥结构红外探测器，其特征在于，所述红外反射层的材料选自于铝、银和金中的任意一种。

10.根据权利要求1所述的微桥结构红外探测器，其特征在于，所述红外吸收层的材料选自于氮化钛和镍铬合金中的任意一种。

11.一种微桥结构红外探测器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供衬底，所述衬底的表面内设置有电极；

在衬底表面制作桥腿，所述桥腿的悬空部分通过第一牺牲层与所述衬底之间分离；

在桥腿表面制作图形化的红外反射层，所述红外反射层通过第二牺牲层与所述桥腿之间分离；

在所述红外反射层的表面制作介质层；

在所述介质层表面制作热敏感层以及与热敏感层连接的电连接支架，所述电连接支架形成于所述热敏感层内的通孔中，穿过所述图形化的红外反射层的间隙以及介质层，支撑设置于所述桥腿的表面；

在所述热敏感层的表面制作红外吸收层，所述红外吸收层的悬空部分通过第三牺牲层与所述热敏感层之间分离；

去除所述第一牺牲层、第二牺牲层和第三牺牲层，从而使桥腿、红外反射层、热敏感层、以及红外吸收层部分悬空，并且所述红外吸收层与所述红外反射层形成针对入射红外光的谐振腔。

12.根据权利要求11所述的微桥结构红外探测器的制作方法，其特征在于，所述桥腿的本体部分处于一与衬底平行的第一平面内，并通过自弯折形成的支架支撑设置于所述电极的表面。

13.根据权利要求11所述的微桥结构红外探测器的制作方法，其特征在于，所述热敏感层和电连接支架的本体部分处于一与衬底平行第二平面内，所述电连接支架进一步通过自弯折形成的支架支撑设置于所述桥腿的表面。

14.根据权利要求11所述的微桥结构红外探测器的制作方法，其特征在于，所述红外吸收层的本体部分处于一与衬底平行第三平面内，并通过自弯折形成的支架支撑设置于所述热敏感层的表面。